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石墨熱場(chǎng)材料有哪些

石墨熱場(chǎng)材料在機(jī)械工業(yè)(尤其是高溫加工領(lǐng)域)中扮演關(guān)鍵角色,其核心材料及組件以石墨為主,并常與其他材料復(fù)合以提升性能。核心石墨材料組件石墨坩堝結(jié)構(gòu):多采用三瓣式設(shè)計(jì),便于拆裝且能有效防止硅液泄漏。性能:耐高溫性:熔點(diǎn)達(dá)3650℃,可在真空或惰性氣體環(huán)境中長(zhǎng)期穩(wěn)定工作?;瘜W(xué)惰性:耐酸堿腐蝕,避免與熔融硅反應(yīng)生成碳化硅雜質(zhì),滿足半導(dǎo)體級(jí)硅材料純度要求(如灰分<30ppm)。

壽命:使用壽命達(dá)30-50爐次,支持大尺寸單晶硅生長(zhǎng)(如36英寸以上硅棒)。石墨加熱器材料:以等靜壓石墨為主,支持2000℃以上穩(wěn)定加熱。優(yōu)勢(shì):導(dǎo)電性:兼具導(dǎo)電性與結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性,適配大功率加熱需求。均勻性:通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)熱量均勻分布,降低晶體缺陷率。節(jié)能性:相比傳統(tǒng)鎢鉬加熱器,能耗降低30%。隔熱系統(tǒng)材料:多層石墨氈或碳纖維復(fù)合材料,熱反射率≥90%。功能:減少熱損失:降低能耗20%-30%。保護(hù)爐體:防止高溫對(duì)金屬部件的損傷。結(jié)構(gòu)支撐件組件:壓環(huán)、保溫蓋、上下保溫罩、坩堝托桿、托盤(pán)等。材料:細(xì)結(jié)構(gòu)中粗石墨或進(jìn)口等靜壓石墨,保證強(qiáng)度及純度。設(shè)計(jì):采用數(shù)控加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)精度±0.05mm,減少裝配應(yīng)力。

復(fù)合增強(qiáng)材料石墨-碳碳復(fù)合材料應(yīng)用:導(dǎo)流筒、緊固件等高溫部件。優(yōu)勢(shì):高溫穩(wěn)定性:尺寸穩(wěn)定性高,適合長(zhǎng)期高溫環(huán)境。機(jī)械強(qiáng)度:抗壓強(qiáng)度≥80MPa,滿足大尺寸設(shè)備需求。石墨-陶瓷涂層工藝:熱噴涂陶瓷涂層(如氧化鋁、氧化釔)。功能:防污染:減少熔硅與石墨反應(yīng),提升材料純度。耐沖刷:防止高壓氣流對(duì)石墨的侵蝕。石墨-石墨紙復(fù)合層位置:隔熱部件內(nèi)表面。作用:提高熱反射率,進(jìn)一步降低能耗。

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